1、附着力与滑移率曲线图（附着力与附着系数的定义） 等离子体清洗可以大大提高金属表面的附着力和表面润湿性，附着力与附着系数的定义这些性能的改善对金属材料的进一步表面处理有很大的帮助。随着高新技术产业的快速发展，等离子体清洗技术的应用越来越广泛，并已广泛应用于电子、半导体、光电等高新技术领域。。这与La2O3催化剂在简单催化条件下对高C2烃的选择性一致...
2、侧向附着力（滑移率与侧向附着力的关系）侧向附着力系数 上下电极(BE、Metal C、 Metal D)和阻变层都是在逻辑后段工艺中会使用到的材料；阻变层的HfO2，侧向附着力 电极材料TiN、Ti 和W都是逻辑工艺常用材料，无交叉污染问题。 目前阻变存储器仍多使用等离子清洗机RIE/ICP蚀刻，面临着存储单元蚀刻剖面过于倾斜，金属电极蚀刻后严重的侧向...
3、附着力和滑移率（附着力和滑移率的概率） 目前常用的绝缘层数据主要是无机绝缘层数据，附着力和滑移率如无机氧化物，其中二氧化硅是有机场效应晶体管中常用的绝缘层。但由于二氧化硅外观存在一定缺陷，与有机半导体数据兼容性差。因此，有必要采用等离子处理对二氧化硅的外观进行润饰。通过实验，建议采用频率为13.56MHz的VP-R系列处理。IV.有机半导...
